SFC5400產(chǎn)品的核心是的.SensirionCMOSens®技術(shù)。它結(jié)合了很多具有先進(jìn)信號的精密傳感器元件，在單個芯片上處理從而提供一個校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償信號（見圖1）。感謝這種傳感器技術(shù)，
SFC5400獲得的速度評級，度和可重復(fù)性，非常有吸引力的系統(tǒng)成本。由于SFx5400具有出色的長期穩(wěn)定性，因此沒有需要重新校準(zhǔn)。

    SFC5400提供快的建立時間和高控制范圍以及機(jī)械方面的高度靈活性。連接器和通信接口。數(shù)字版本還提供多個可選的智能功能氣體和范圍，氣體識別和自檢能力。SFM5400是基于該閥的無閥流量計SFC5400質(zhì)量流量控制器。它具有相同的功能，作為MFC的性能優(yōu)勢和配置沒有提供控制器功能的對應(yīng)物。

 SFC5400產(chǎn)品實(shí)物圖：

數(shù)據(jù)表SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/氣體流量計數(shù)據(jù)表 - V14?

• 超快建立時（低至50 ms）。?
• 出色的精度/可重復(fù)性（分別為設(shè)定值的0.8％/ 0.1％）
• 寬控制范圍（1000：1）。
• 廣泛的接口選擇：RS485，DeviceNet，IO-Link和模擬電壓/電流
• 廣泛的連接器選擇：下裝，世偉洛克，VCR，VCO，W-Seal
• 多種氣體和氣體識別
• NIST可溯源校準(zhǔn)
• MTBF169年